半導體材料產業風淋室的應用

  現今我國已是全球第三大電子信息產品制造國，電子信息產品已經滲透到我們生活的各個角落，包括通信、醫療、計算機及周邊視聽產品、玩具、軍工用品等。從產業鏈上來看，包括電子元器件產品、IC、配件、電子中間產品（如車載產品）、終端產品。電子產業的發展必然會帶動起相關產業的發展，無塵車間的風淋室就是其中的一種重要設備。

    半導體材料（semiconductormaterial）是導電能力介于導體與絕緣體之間的物質。半導體材料是一類具有半導體性能、可用來制作半導體器件和集成電的電子材料，其電導率在10（U-3）～10（U-9）歐姆/厘米范圍內。在電子行業中半導體材料的使用十分廣泛，大部分的電子元器件都使用到半導體材料。

    半導體材料有以下共同特點：

1．半導體的導電能力介于導體與絕緣體之間

2．半導體受外界光和熱的刺激時，其導電能力將會有顯著變化。

3．在純凈半導體中，加入微量的雜質，其導電能力會急劇增強。

    半導體材料提純是發展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響產品品質量的一個突出問題。加工環境的潔凈度由多方面的因素決定，因素之一進入潔凈的人員，工作人員凈化設備為風淋室，風淋室是經高效過濾器過濾的潔凈空氣從噴嘴噴出，吹落工作服上的灰塵，含塵空氣經粗效過濾器被風機吸入，加壓后流過高效過濾器再從噴嘴噴出，如此循環。風淋室都裝有定時裝置，工作人員按壓啟動按鈕后，即可進入風淋室并關門吹淋，一定的設定時間之后風淋自動停止。這時，工作人員即可進入潔凈室。

    不難看出風淋室的使用對于高精度，高質量電子產品的加工生產有著重要作用。

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